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[ MEMWEPRMEMS ] PR Praktikum Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik

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Workload Ausbildungslevel Studienfachbereich VerantwortlicheR Semesterstunden Anbietende Uni
3 ECTS M2 - Master 2. Jahr Mechatronik Wolfgang Hilber 2 SSt Johannes Kepler Universität Linz
Detailinformationen
Quellcurriculum Masterstudium Mechatronik 2012W
Ziele - Kennenlernen typischer Herstellungstechnologien in der Mikrosensorik. - Selbstständige Herstellung eines Dünnschicht-Bauelements im Rahmen eines aktuellen Forschungsprojektes.
Lehrinhalte Praktikum zu den Methoden der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik mit Übungen im Reinraum/Technologielabor: - Substrat Vorbereitung/Reinigung - PVD: Aufdampfen (thermisch und mit Elektronenstrahl)
- Photo-Lithographie inklusive Aufschleudern
- CVD: Plasmaätzen
- Nasschemisches ätzen
Beurteilungskriterien Mitarbeit, Bericht
Lehrmethoden - Theoretische Einführung in die Dünnschichttechnologie - Praktisches Arbeiten im Technologie-Labor
Abhaltungssprache Deutsch oder Englisch
Lehrinhalte wechselnd? Nein
Sonstige Informationen Es sind keine Vorkenntnisse erforderlich.
Äquivalenzen ME3WPPRPMIK: PR Praktikum Mikroelektronik (4 ECTS)
Präsenzlehrveranstaltung
Teilungsziffer 20
Zuteilungsverfahren Zuteilung nach Reihenfolge