| Detailinformationen |
| Quellcurriculum |
Masterstudium Mechatronik 2025W |
| Lernergebnisse |
Kompetenzen |
- Kennenlernen typischer Herstellungstechnologien - Dünnschichttechnologie als auch additive Technologien - in der Mikrosensorik.
- Selbstständige Herstellung eines Bauelements im Rahmen eines aktuellen Forschungsprojektes am Institut.
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| Fertigkeiten |
Kenntnisse |
- Arbeiten im Technologielabor/Reinraum. (k1 - k3)
- Umgang mit technologischen Materialien und Chemikalien. (k1 - k3)
- Umgang mit technologischem Equipment (z.B. Plasmaanlage, Spin Coater, Laser-Cutter, Surface Profiler, etc) (k1 - k3)
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- (Funktionale) Materialien in der Mikrosensorik.
- Technologische Verfahren zur Herstellung (Dünnschichttechnologie als auch additive Technologien).
- Anwendungsfelder von Mikrosensoren.
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| Beurteilungskriterien |
Mitarbeit, technischer Bericht, hergestellte Proben
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| Lehrmethoden |
- Theoretische Einführung in die Technologie der Mikrosensorik.
- Praktisches Arbeiten im Technologie-Labor/Reinraum.
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| Abhaltungssprache |
Deutsch oder Englisch |
| Literatur |
Vorlesungsfolien
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| Lehrinhalte wechselnd? |
Nein |
| Sonstige Informationen |
Es sind keine Vorkenntnisse erforderlich.
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| Äquivalenzen |
ME3WPPRPMIK: PR Praktikum Mikroelektronik (4 ECTS)
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| Frühere Varianten |
Decken ebenfalls die Anforderungen des Curriculums ab (von - bis)
MEMWEPRMEMS: PR Praktikum Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik (2009W-2022S)
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