| Detailinformationen |
| Quellcurriculum |
Masterstudium Mechatronik 2023W |
| Ziele |
- Kennenlernen typischer Herstellungstechnologien in der Mikrosensorik.
- Selbstständige Herstellung eines Dünnschicht-Bauelements im Rahmen eines aktuellen Forschungsprojektes.
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| Lehrinhalte |
Praktikum zu den Methoden der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik mit Übungen im Reinraum/Technologielabor:
- Substrat Vorbereitung/Reinigung
- PVD: Aufdampfen (thermisch und mit Elektronenstrahl)
- Photo-Lithographie inklusive Aufschleudern
- CVD: Plasmaätzen
- Nasschemisches ätzen
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| Beurteilungskriterien |
Mitarbeit, Bericht
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| Lehrmethoden |
- Theoretische Einführung in die Dünnschichttechnologie
- Praktisches Arbeiten im Technologie-Labor
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| Abhaltungssprache |
Deutsch oder Englisch |
| Lehrinhalte wechselnd? |
Nein |
| Sonstige Informationen |
Es sind keine Vorkenntnisse erforderlich.
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| Äquivalenzen |
ME3WPPRPMIK: PR Praktikum Mikroelektronik (4 ECTS)
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| Frühere Varianten |
Decken ebenfalls die Anforderungen des Curriculums ab (von - bis)
MEMWEPRMEMS: PR Praktikum Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik (2009W-2022S)
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