| Detailinformationen |
| Quellcurriculum |
Studium Informationselektronik 2009W |
| Ziele |
Kennenlernen von wissenschaftlichen Apparaturen, die für die Halbleiterphysik relevant sind; selbständige Durchführung von Messungen und deren Auswertung; Herstellung von Proben; Abfassen von Protokollen; Vertiefen von Lehrinhalten aus der Vorlesung Halbleiterphysik
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| Lehrinhalte |
Röntgenbeugung zur Bestimmung von Schichtdicken und Kristallitgrößen; Herstellung von Kontakten mit Lithographieverfahren; elektrische und optische Charakterisierung von Halbleiter Bauelementen; Mikroskopische Untersuchungen an Halbleiterstrukturen
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| Beurteilungskriterien |
Durchführung der Aufgaben, Qualität des Protokolls, Wissen bei der Nachbesprechung
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| Lehrmethoden |
Einführung in den Umgang mit wissenschaftlichen Apparaturen, Betreute Durchführung von Experimenten, Anleitung zur Auswertung der experimentellen Resultate, Überprüfung der Lehrinhalte
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| Abhaltungssprache |
Deutsch, bei Bedarf auch Englisch |
| Literatur |
Anleitungen, die vor Durchführung zur Verfügung gestellt werden
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| Lehrinhalte wechselnd? |
Nein |
