| Detailed information | 
                    
                                
                    
                      | Original study plan | 
                      Study Information Electronics 2009W | 
                    
                      
                    
                      | Objectives | 
                      (*)Kennenlernen von wissenschaftlichen Apparaturen, die für die Halbleiterphysik relevant sind; selbständige Durchführung von Messungen und deren Auswertung; Herstellung von Proben; Abfassen von Protokollen; Vertiefen von Lehrinhalten aus der Vorlesung Halbleiterphysik 
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                      | Subject | 
                      (*)Röntgenbeugung zur Bestimmung von Schichtdicken und Kristallitgrößen; Herstellung von Kontakten mit Lithographieverfahren; elektrische und optische Charakterisierung von Halbleiter Bauelementen; Mikroskopische Untersuchungen an Halbleiterstrukturen
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                      | Criteria for evaluation | 
                      (*)Durchführung der Aufgaben, Qualität des Protokolls, Wissen bei der Nachbesprechung
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                      | Methods | 
                      (*)Einführung in den Umgang mit wissenschaftlichen Apparaturen, Betreute Durchführung von Experimenten, Anleitung zur Auswertung der experimentellen Resultate, Überprüfung der Lehrinhalte
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                      | Language | 
                      German, english on demand | 
                    
                      
                    
                      | Study material | 
                      (*)Anleitungen, die vor Durchführung zur Verfügung gestellt werden
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                      | Changing subject? | 
                      No |