- Identifikation von Sensormechanismen bestehender Systeme (k4, k5)
- Identifikation von passenden Sensormechanismen zu entwerfender Systeme (k4-k6)
- Entwurf von Modellen für Sensoren und Sensormechanismen (k6)
- Analyse und Berechnung von Mikrosensoren (k4, k5)
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Einführung, Skalierung, Mikroakustik, Beschleunigungssensoren, Mikrofluidik, Technologie der Mikroelektronik, Technologie der Mikrosystemtechnik, Halbleitersensoren
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