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[ TPMPNPRN2HT ] PR Nanofabrikation II: Halbleitertechnologie

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Workload Ausbildungslevel Studienfachbereich VerantwortlicheR Semesterstunden Anbietende Uni
1,5 ECTS M1 - Master 1. Jahr Physik Gunther Springholz 1 SSt Johannes Kepler Universität Linz
Detailinformationen
Quellcurriculum Masterstudium Nanoscience and -Technology 2012W
Ziele Vermitteln von praktischen Kenntnissen in der Herstellung von Nanostrukturen.
Lehrinhalte Praktische Versuche zu Photolithographie, reaktivem Ionenätzen, Metallisierung. Arbeiten unter Reinraumbedingungen.
Beurteilungskriterien Versuchsdurchführung, Resultate und Versuchsprotokolle.
Lehrmethoden Durchführung von praktischen Experimenten zur Nanofabrikation mittels modernen Apparaturen unter Reinraumbedingungen.
Abhaltungssprache Deutsch oder Englisch
Literatur Vorbereitungsunterlagen und Literatur werden im KUSSS zur Verfügung gestellt. Skriptum der Vorlesung "Nanofabrication II":
Lehrinhalte wechselnd? Nein
Sonstige Informationen Vorlesung richtet sich an Teilnehmer/innen der Vorlesung Nanofabrication II, sowie an Master und Doktoratsstudierende die praktische Kenntnisse in der Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen erwerben möchten.
Äquivalenzen TPMPNPRNAF2: PR Nanofabrikation II (1,5 ECTS)
Präsenzlehrveranstaltung
Teilungsziffer 15
Zuteilungsverfahren Zuteilung nach Vorrangzahl