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| Detailinformationen |
| Quellcurriculum |
Masterstudium Mechatronik 2021W |
| Ziele |
Verständnis der Technologien und Methoden zur Realisierung von Mikrosensoren. Das Niveau orientiert sich beispielsweise an Gerlach, Einführung in die Mikrosystemtechnik, Hanser Verlag, 2006.
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| Lehrinhalte |
Einführung, Skalierung, Mikroakustik, Beschleunigungssensoren, Mikrofluidik, Technologie der Mikroelektronik, Technologie der Mikrosystemtechnik, Halbleitersensoren
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| Beurteilungskriterien |
Schriftliche Prüfung
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| Lehrmethoden |
Vorlesung mit Beispielen und Übungen
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| Abhaltungssprache |
Deutsch oder Englisch |
| Literatur |
Vorlesungsfolien
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| Lehrinhalte wechselnd? |
Nein |
| Sonstige Informationen |
keine
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| Äquivalenzen |
MEMWEVOMISK: VO Mikrosensorik (3 ECTS)
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