Detailinformationen |
Quellcurriculum |
Masterstudium Mechatronik 2022W |
Ziele |
- Kennenlernen typischer Herstellungstechnologien in der Mikrosensorik.
- Selbstständige Herstellung eines Dünnschicht-Bauelements im Rahmen eines aktuellen Forschungsprojektes.
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Lehrinhalte |
Praktikum zu den Methoden der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik mit Übungen im Reinraum/Technologielabor:
- Substrat Vorbereitung/Reinigung
- PVD: Aufdampfen (thermisch und mit Elektronenstrahl) - Photo-Lithographie inklusive Aufschleudern - CVD: Plasmaätzen - Nasschemisches ätzen
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Beurteilungskriterien |
Mitarbeit, Bericht
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Lehrmethoden |
- Theoretische Einführung in die Dünnschichttechnologie
- Praktisches Arbeiten im Technologie-Labor
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Abhaltungssprache |
Deutsch oder Englisch |
Lehrinhalte wechselnd? |
Nein |
Sonstige Informationen |
Es sind keine Vorkenntnisse erforderlich.
Bis Semester 2022S bezeichnet als: MEMWEPRMEMS PR Praktikum Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik
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Äquivalenzen |
ME3WPPRPMIK: PR Praktikum Mikroelektronik (4 ECTS)
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Frühere Varianten |
Decken ebenfalls die Anforderungen des Curriculums ab (von - bis) MEMWEPRMEMS: PR Praktikum Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik (2009W-2022S)
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