Es ist eine neuere Version 2023W dieser LV im Curriculum Masterstudium Medical Engineering 2024W vorhanden.
Workload
Ausbildungslevel
Studienfachbereich
VerantwortlicheR
Semesterstunden
Anbietende Uni
3 ECTS
M2 - Master 2. Jahr
Mechatronik
Wolfgang Hilber
2 SSt
Johannes Kepler Universität Linz
Detailinformationen
Quellcurriculum
Masterstudium Mechatronik 2012W
Ziele
- Kennenlernen typischer Herstellungstechnologien in der Mikrosensorik.
- Selbstständige Herstellung eines Dünnschicht-Bauelements im Rahmen eines aktuellen Forschungsprojektes.
Lehrinhalte
Praktikum zu den Methoden der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik mit Übungen im Reinraum/Technologielabor:
- Substrat Vorbereitung/Reinigung
- PVD: Aufdampfen (thermisch und mit Elektronenstrahl) - Photo-Lithographie inklusive Aufschleudern - CVD: Plasmaätzen - Nasschemisches ätzen
Beurteilungskriterien
Mitarbeit, Bericht
Lehrmethoden
- Theoretische Einführung in die Dünnschichttechnologie
- Praktisches Arbeiten im Technologie-Labor
