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| Detailinformationen |
| Quellcurriculum |
Masterstudium Nanoscience and -Technology 2009W |
| Lehrinhalte |
Einführung Strukturierung mit Laserverfahren, Photolithographie mit gepulsten UV-Lasern, EUV Lithographie, Laser-Interferenzverfahren, Laserablation zur Mikrostruktierung, Selbstorganisierte Mikro- und Nanostrukturen, Nahfeldverfahren zur Laserstrukturierung, Stereolithographie, Herstellung von sub-Wellenlängen Strukturen durch nichtlineare Prozesse, Wechselwirkung von biologischen Zellen mit Laser-induzierten Mikro- und Nanostrukturen.
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| Beurteilungskriterien |
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| Abhaltungssprache |
Deutsch (evtl. Englisch) |
| Lehrinhalte wechselnd? |
Nein |
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