| Detailinformationen |
| Quellcurriculum |
Masterstudium Nanoscience and -Technology 2012W |
| Ziele |
Vermitteln von praktischen Kenntnissen in der Herstellung von Nanostrukturen.
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| Lehrinhalte |
Praktische Versuche zu Photolithographie, reaktivem Ionenätzen, Metallisierung.
Arbeiten unter Reinraumbedingungen.
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| Beurteilungskriterien |
Versuchsdurchführung, Resultate und Versuchsprotokolle.
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| Lehrmethoden |
Durchführung von praktischen Experimenten zur Nanofabrikation mittels modernen Apparaturen unter Reinraumbedingungen.
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| Abhaltungssprache |
Deutsch oder Englisch |
| Literatur |
Vorbereitungsunterlagen und Literatur werden im KUSSS zur Verfügung gestellt.
Skriptum der Vorlesung "Nanofabrication II":
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| Lehrinhalte wechselnd? |
Nein |
| Sonstige Informationen |
Vorlesung richtet sich an Teilnehmer/innen der Vorlesung Nanofabrication II, sowie an Master und Doktoratsstudierende die praktische Kenntnisse in der Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen erwerben möchten.
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| Äquivalenzen |
TPMPNPRNAF2: PR Nanofabrikation II (1,5 ECTS)
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