 |
| Detailinformationen |
| Quellcurriculum |
Masterstudium Mechatronik 2015W |
| Ziele |
Verständnis der Technologien und Methoden zur Realisierung von Mikrosensoren.
|
| Lehrinhalte |
Einführung, Skalierung, Mikroakustik, Beschleunigungssensoren, Mikrofluidik, Technologie der Mikroelektronik, Technologie der Mikrosystemtechnik, Halbleitersensoren
|
| Beurteilungskriterien |
Schriftliche Prüfung
|
| Abhaltungssprache |
Deutsch oder Englisch |
| Literatur |
Vorlesungsfolien
|
| Lehrinhalte wechselnd? |
Nein |
| Sonstige Informationen |
keine
|
|
